[发明专利]一种蒸镀装置及方法有效
| 申请号： | 201910252176.9 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110029311B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 刘昕;江社明;仲海峰;习中革;李远鹏;张杰;邱肖盼;张子月;张启富 | 申请（专利权）人： | 新冶高科技集团有限公司;北京钢研新冶工程设计有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 丛洪杰;和欢庆 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀装置及方法，属于真空蒸镀技术领域，解决了现有技术中蒸镀材料利用率低、镀层附着力小以及无法精确控制膜厚的问题。蒸镀装置，包括蒸镀腔、熔融单元、蒸气输送单元和喷射单元，从熔融腔至喷射腔方向，蒸气腔的横截面面积逐渐减小；喷嘴设有开口大小可调节的喷气口，喷气口用于向试样镀膜；蒸气腔顶部的横截面面积大于喷气口处的横截面面积。蒸镀方法包括：将待镀试样固定在第一移动部底部，根据待镀试样宽度调整喷气口长度；抽真空，设置移动部的移动速度；加热蒸镀材料；蒸镀；取出试样。本发明实现了对蒸镀材料的高效利用，并且提高了镀膜的致密性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸镀腔、熔融单元、蒸气输送单元和喷射单元，所述熔融单元通过所述蒸气输送单元和所述喷射单元连接；所述熔融单元包括熔融腔，所述蒸气输送单元包括蒸气腔，所述蒸气输送单元包括蒸气腔，所述喷射单元包括喷射腔和喷嘴；从所述熔融腔至所述喷射腔方向，所述蒸气腔的横截面面积逐渐减小；所述喷嘴设有开口大小可调节的喷气口，所述喷气口用于向试样镀膜；所述蒸气腔顶部的横截面面积大于所述喷气口处的横截面面积；所述试样在蒸镀腔内完成镀膜。
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