[发明专利]一种红外线控制电路在审
| 申请号： | 201910259907.2 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111769031A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 刘海财 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/304 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于晶圆缺口位置检测的红外线光源。本发明提供了一种新型红外线控制电路，该红外线控制电路具有稳定可控、成本低的优点。当该红外线控制电路应用于离子注入机时，可为晶圆缺口检测提供稳定可控的红外线光源，属于半导体领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外线 控制电路 | ||
【主权项】：
暂无信息
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