[发明专利]温度调节系统

摘要

一实施方式所涉及的温度调节系统调节载置台的温度。在使载置台的温度上升时，该温度调节系统的控制部向载置台输入热量，并且打开分流阀的同时调节分流阀的开度以使载置台的温度达到高于第1温度的第2温度。热交换部设置在载置台内且进行基于制冷剂的热交换，压缩器压缩从热交换部排出的制冷剂，冷凝器冷凝由压缩器压缩后的制冷剂，供给管道设置于冷凝器的输出端与热交换部的输入端之间，将制冷剂送往热交换部，膨胀阀设置于供给管道，气体管道设置于压缩器的输出端与膨胀阀的输出端之间，分流阀设置于气体管道，检测装置检测载置台的温度，控制部根据由检测装置检测出的温度来调节向载置台的热量输入、膨胀阀以及分流阀各自的开度。

主权项

1.一种温度调节系统，其调节载置被处理体的载置台的温度，所述温度调节系统具备：热交换部，设置于所述载置台内且进行基于制冷剂的热交换；压缩器，压缩从所述热交换部排出的所述制冷剂；冷凝器，冷凝由所述压缩器压缩后的所述制冷剂；供给管道，设置于所述冷凝器的输出端与所述热交换部的输入端之间，将所述制冷剂送往所述热交换部；膨胀阀，设置于所述供给管道；气体管道，设置于所述压缩器的输出端与所述膨胀阀的输出端之间；分流阀，设置于所述气体管道；检测装置，检测所述载置台的温度；以及控制部，根据由所述检测装置检测出的所述载置台的温度，调节向该载置台的热量输入、所述膨胀阀以及所述分流阀各自的开度，在打开所述膨胀阀、关闭所述分流阀的同时调节该膨胀阀的开度以使所述载置台成为第1温度的状况下使所述载置台的温度上升时，所述控制部向该载置台输入热量，并且打开该分流阀的同时调节该分流阀的开度以使该载置台的温度成为高于该第1温度的第2温度。