[发明专利]基板处理装置、基板处理方法以及存储介质

摘要

本发明提供基板处理装置、基板处理方法以及存储介质，能够缩短装置的停机时间。基板处理装置(10)具备：处理单元(16)，其对晶圆(W)进行处理；罐(102、202)，其贮存处理液；处理液供给部(103、203)，其将罐内的处理液供给至处理单元；排出部(110、210)，其将罐内的处理液排出；补充部(112、212)，其将处理液补充至罐；以及控制部(18)，其中，控制部构成为执行以下控制：控制处理液供给部并且控制处理单元来实施处理工作；以及当在处理工作的实施期间规定的液更换实施条件成立时，控制排出部并且控制补充部，以使液更换处理与处理工作并行地实施。

主权项

1.一种基板处理装置，具备：基板处理部，其利用处理液对基板进行处理；贮存部，其贮存所述处理液；处理液供给部，其将所述贮存部内的所述处理液供给至所述基板处理部；排出部，其将所述贮存部内的所述处理液排出；补充部，其将所述处理液补充至所述贮存部；以及控制部，其中，所述控制部构成为执行以下控制：控制所述处理液供给部以向所述基板处理部供给所述处理液，并且控制所述基板处理部以利用所述处理液对所述基板进行处理，由此实施处理工作；以及当在所述处理工作的实施期间规定的液更换实施条件成立时，控制所述排出部以将所述贮存部内的处理液排出，并且控制所述补充部以向所述贮存部内补充新的所述处理液，使液更换处理与所述处理工作并行地实施。