[发明专利]一种掩膜板在审
| 申请号： | 201910262698.7 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111763908A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 林进志;叶昱均 | 申请（专利权）人： | 陕西坤同半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安亚信智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 61241 | 代理人： | 杨亚会 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例是关于一种掩膜板，该掩膜板包括：边框；设置于所述边框上的第一掩膜层；设置于所述第一掩膜层上的第二掩膜层；设置于所述第二掩膜层上的第三掩膜层；其中，所述第一掩膜层包括第一区和第二区，所述第一区与所述边框连接，所述第一区的厚度大于所述第二区的厚度。本发明实施例可以降低掩膜片和框架的焊接处出现点焊失败的几率，进而提高掩膜板的制作良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】：
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