[发明专利]旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置在审
| 申请号： | 201910273232.7 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111778486A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈宝忠;徐国军;万捷;张蛟 | 申请（专利权）人： | 领凡新能源科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京智晨知识产权代理有限公司 11584 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 101407 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转靶材的绑定方法，涉及靶材技术，能够解决通过人工钎焊绑定靶材费时费力的问题。所述旋转靶材的绑定方法包括：将背衬管装配在可旋转底座上；将各段靶材管穿套在所述背衬管上，并对各段靶材管之间的拼接缝隙进行密封，各段靶材管形成环绕所述背衬管的靶材材料层；对所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙抽真空；向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶，并通过旋转所述可旋转底座使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 绑定 方法 装置 | ||
【主权项】：
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