[发明专利]阵列基板修补系统及其方法有效
申请号: | 201910274971.8 | 申请日: | 2019-04-08 |
公开(公告)号: | CN110082974B | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 郑佩莎;何人杰 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种阵列基板修补系统及其方法,其中所述阵列基板修补系统包括第一电性量测站、镭射修补机、镭射长线机及研磨机。第一电性量测站量测所述阵列基板是否存在缺陷,所述缺陷包括点缺陷、断线缺陷和粒子缺陷。镭射修补机对具有所述点缺陷的所述阵列基板进行修补,并分流其余非具有所述点缺陷的所述阵列基板。镭射长线机对具有所述断线缺陷的所述阵列基板并进行长线修补。研磨机对具有所述粒子缺陷的所述阵列基板进行研磨。借此,通过所述研磨机的研磨修补取代所述镭射长线机的长线修补,降低所述镭射长线机的工作量,从而提升产能与生产效率。 | ||
搜索关键词: | 阵列 修补 系统 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种阵列基板修补系统,包括:第一电性量测站,量测所述阵列基板是否存在缺陷,其中所述缺陷包括点缺陷、断线缺陷和粒子缺陷;镭射修补机,连接所述第一电性量测站,对具有所述点缺陷的所述阵列基板进行修补,所述镭射修补机分流其余非具有所述点缺陷的所述阵列基板;镭射长线机,连接所述镭射修补机,对具有所述断线缺陷的所述阵列基板并进行长线修补;以及研磨机,连接所述镭射修补机,对具有所述粒子缺陷的所述阵列基板进行研磨。
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