[发明专利]利用喷墨头的药液供应方法有效
| 申请号： | 201910275560.0 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110355019B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李东润;张润玉;郑在训 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B05B12/08 | 分类号： | B05B12/08 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的周边部分的喷墨头，可以从中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从第一部分以第二药液供应量将药液供应到基板上，从第二部分以第三药液供应量将药液供应到基板上。可以将喷墨头在基板的上部移动相当于周边部分的长度的量。可以从中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从第一部分以第二药液供应量将药液供应到基板上，从第二部分以第三药液供应量将药液供应到基板上。本发明的药液供应方法能够有效防止在所述基板的邻接的区域的边界因所述药液而可能发生的界面湍动现象，能够在所述基板上均匀地形成所需的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 喷墨 药液 供应 方法 | ||
【主权项】：
1.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤。
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