[发明专利]可锁止的晶圆片放置架

摘要

本发明实施例公开了一种可锁止的晶圆片放置架。本发明的晶圆片放置架，包括：放置架本体和第一机械抽头，放置架本体的左右侧板上对应设有多组放置槽，用于水平放置晶圆片，放置架本体的左侧板上设有竖直的第一滑槽，第一机械抽头设有多组与放置槽对应的多组第一进入槽，第一机械抽头可移动的设置在第一滑槽内。本发明的晶圆片放置架，第一机械抽头上升时，第一进入槽与放置槽相互连通，晶圆片可放入和取出放置架本体；第一机械抽头在重力作用下下降时，第一进入槽与放置槽相互错开，放置架本体内的晶圆片被第一机械抽头阻挡锁止，晶圆片不会从放置架本体内滑出，保证晶圆片不被损坏。

主权项

1.一种可锁止的晶圆片放置架，其特征在于，包括：放置架本体和第一机械抽头；所述放置架本体包括顶板、底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板上对应设有多组放置槽，对应的一组左放置槽与右放置槽位于相同高度，用于水平放置晶圆片；所述第一侧板上设有竖直的第一滑槽；所述第一机械抽头设有与所述多组放置槽对应的多组第一进入槽；所述第一机械抽头可移动的设置在所述第一滑槽内，且所述第一机械抽头下降时，所述第一进入槽与所述放置槽相互错开，用于使所述放置槽阻断，所述第一机械抽头上升时，所述第一进入槽与所述放置槽相互连通，使所述放置槽开放。