[发明专利]化学品替换系统在审
| 申请号： | 201910280992.0 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110970291A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 陈裕凯;袁芳围;高克斌;王希鸣;叶书佑;吴立仁;于之躍 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开内容的实施方式描述了自动替换光阻瓶的化学品替换系统和方法。化学品替换系统包括计算机系统和传送模块。计算机系统可以接收替换一或多个化学品容器的请求信号，并发送指令至传送模块。传送模块由计算机系统控制，传送模块可以包括：配置为支持一或多个化学品容器的支持器；配置为响应指令而打开的门单元；以及配置为响应指令而弹出支持器的传送单元，以进行替换。化学品替换系统可以更包括自动载具，其配置为替换在弹出的支持器中的一或多个化学品容器。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 替换 系统 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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