[发明专利]器件多余物微粒碰撞检测装置的振动台负反馈失效检测系统及其检测方法

摘要

器件多余物微粒碰撞检测装置的振动台负反馈失效检测系统及其检测方法，涉及器件多余物检测技术领域。本发明是为了解决现有的器件多余物微粒碰撞检测装置振动台负反馈失效时会产生过大的振动加速度，可能会振落或振飞振动台面上的被测件，造成周围的设备或工作人员受到损害的问题。先是根据振动台不同的振动频率选取失效检测所需的阈值；再次，在振动台运行时，根据所述阈值判断所述装置的所述振动台负反馈是否失效，如果失效则拉低驱动器的驱动信号，使振动台停止振动。它用于消除了振动台负反馈失效后振动台台面撞底的现象。

主权项

1.器件多余物微粒碰撞检测装置的振动台负反馈失效检测系统，其特征在于，所述系统包括主控器(2)和驱动信号检测比较电路(1)，主控器(2)包括负载估计模块(2‑2)、加速度信号比较模块(2‑1)、保护模块(2‑3)和阈值计算模块(2‑4)，阈值计算模块(2‑4)，用于低频时根据振动台设定的振动频率获得满载驱动信号阈值，高频时根据振动台设定的振动加速度获得加速度信号阈值；中频时根据振动台设定的振动频率和振动加速度获得半载加速度累加和阈值和半载驱动信号阈值和满载驱动信号阈值，负载估计模块(2‑2)，用于根据半载加速度累加和阈值与振动台振动后采集到的加速度信号的累加值判断振动台在中频时是处于满载状态还是半载状态，若振动台处于中频半载状态，则将半载驱动信号阈值传送给驱动信号检测比较电路(1)，替换满载驱动信号阈值，若振动台处于中频满载状态，则不替换满载驱动信号阈值；驱动信号检测比较电路(1)，用于在低频时采集满载驱动信号阈值，在中频半载时采集半载驱动信号阈值，在中频满载时采集满载驱动信号阈值，根据该三种驱动阈值中的任一驱动信号阈值与通过峰值保持电路检测到的驱动信号，控制电平信号输出；加速度信号比较模块(2‑1)，用于在高频时获取加速度信号阈值，并根据加速度检测电路采集到的加速度信号，控制输出状态的真假；保护模块(2‑3)，用于不断检测驱动信号检测比较电路(1)的输出电平或加速度信号比较模块(2‑1)的输出状态，若检测驱动信号检测比较电路(1)的输出为高电平或者加速度信号比较模块(2‑1)的输出状态为真，则拉低驱动器的驱动信号，使振动台停止振动。