[发明专利]研磨装置有效
| 申请号： | 201910284961.2 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN110394726B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 田山游;岩本阳平;吉原秀明;井上裕介;田中敬;加藤刚敏 | 申请（专利权）人： | 创技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/005;B24B49/04 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国神奈川县*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨装置，其基于研磨中的工件的形状变化的推移，在已经成为所期望的工件形状的时刻或者成为所期望的工件形状的时刻能够停止工件的研磨加工。其具备：研磨机，其由旋转的下定盘及上定盘研磨工件；形状测量部，其通过形成在所述上定盘上的测量孔对所述工件的形状进行测量；存储部，其存储由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；显示部，其显示由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；控制部，其对所述显示部显示的内容进行控制，所述控制部生成第一绘图，并将所述第一绘图显示在所述显示部，所述第一绘图是将由所述形状测量部测量的作为当前研磨中的工件的研磨中工件的形状绘图按照时间序列排列。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，其特征在于：所述研磨装置具备：研磨机，其利用旋转的定盘来研磨工件；形状测量部，其通过形成在所述定盘上的测量孔对所述工件的形状进行测量；存储部，其存储由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；显示部，其显示由所述形状测量部测量的所述工件的形状信息；以及控制部，其对所述显示部显示的内容进行控制，所述控制部生成第一绘图，并将所述第一绘图显示在所述显示部，所述第一绘图是将由所述形状测量部测量的作为当前研磨中的工件的研磨中工件的形状绘图按照时间序列进行排列而成的。
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