[发明专利]成型设备和制造物品的方法有效
申请号: | 201910286880.6 | 申请日: | 2019-04-11 |
公开(公告)号: | CN110361929B | 公开(公告)日: | 2023-08-18 |
发明(设计)人: | 佐藤贵洋 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 张小稳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开涉及成型设备和制造物品的方法。本发明提供了一种成型设备,该成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理,该成型设备包括被配置为保持基板的保持单元以及被配置为控制成型处理的控制单元,其中,所述控制单元在基板由保持单元以第一保持力保持的同时,开始用于将模具压靠在基板上的组合物上的处理,使得保持单元在处理开始之后以小于第一保持力的第二保持力保持基板,并且维持由保持单元以第二保持力对基板的保持,直到完成将基板上的组合物填充到模具中。 | ||
搜索关键词: | 成型 设备 制造 物品 方法 | ||
【主权项】:
1.一种成型设备,其特征在于,该成型设备使用模具执行用于对基板上的组合物成型的成型处理,所述成型设备包括:保持单元,被配置为保持所述基板;和控制单元,被配置为控制所述成型处理,其中,所述控制单元在所述基板由所述保持单元以第一保持力保持的同时,开始用于将所述模具压靠在所述基板上的组合物上的处理,使得所述保持单元在处理开始之后以小于所述第一保持力的第二保持力保持所述基板,并且维持由所述保持单元以所述第二保持力对所述基板的保持,直到完成将所述基板上的组合物填充到所述模具中。
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