[发明专利]一种显影装置及显影方法在审
| 申请号： | 201910295633.2 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN109976106A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 包路路;李素华;刘海亮;孙京涛 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘诚;李旭亮 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种显影装置及显影方法，显影装置包括：工艺腔室，所述工艺腔室内设置有待显影复合件的容纳区；所述待显影复合件包括基板与掩膜板；显影液蒸汽供应装置，所述显影液蒸汽供应装置用于向所述工艺腔室中提供显影液蒸汽；冷却装置，所述冷却装置用于冷却所述基板。通过显影液蒸汽供应装置像待显影基板提供显影液蒸汽，并在冷却装置的作用下使显影液蒸汽在待反应的光刻胶表面液化为纳米尺寸的液滴，一方面可以提高显影均匀性，另一方面可以节省曝光步骤，节省工艺成本的同时还提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 显影 蒸汽供应装置 冷却装置 显影装置 蒸汽 工艺腔室 复合件 基板 待显影基板 光刻胶表面 显影均匀性 工艺成本 曝光步骤 生产效率 工艺腔 容纳区 掩膜板 液滴 冷却 室内 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置，其特征在于，包括：工艺腔室，所述工艺腔室内设置有待显影复合件的容纳区；所述待显影复合件包括基板与掩膜板；显影液蒸汽供应装置，所述显影液蒸汽供应装置用于向所述工艺腔室中提供显影液蒸汽；冷却装置，所述冷却装置用于冷却所述基板。
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