[发明专利]激光打标机及其打标方法有效
| 申请号： | 201910306387.6 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN109968854B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 谢圣君;温尧明;覃忠贤;焦波;林家新;郭良;杨萍;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B41M5/26 | 分类号： | B41M5/26;B41J2/47;B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何锋;何平 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光打标机及其打标方法。该打标方法包括步骤：将透光膜贴附于工件的待打标表面上，获取所述工件的待打标图形，根据所述待打标图形在所述工件的待打标表面上进行激光打标。上述激光打标方法中，通过在晶圆表面上贴附透光膜，能较大提升晶圆的整体强度，避免晶圆表面卷曲的情况发生，使得晶圆保持平整，同时减小应力损伤和微裂纹，减小破片的可能性，实现了厚度小于100毫米以下的晶圆的激光打标。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 打标机 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种打标方法，其特征在于，包括如下步骤：将透光膜贴附于工件的待打标表面上；获取所述工件的待打标图形；根据所述待打标图形在所述工件的待打标表面上进行激光打标。
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