[发明专利]一种选择性正面钝化PERC太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开一种选择性正面钝化PERC太阳能电池的制备方法，包括：⑴对P型硅制绒；⑵在正面上形成N型薄膜；⑶在N型薄膜上对应正银电极图形的区域涂蜡，烘干；⑷去除P型硅上未涂蜡区域的N型薄膜；⑸扩散磷源形成N型硅；⑹去除蜡和在扩散过程中形成的磷硅玻璃和周边PN结，对硅片背面进行刻蚀；⑺退火；⑻沉积正面钝化膜和背面钝化膜；⑼在背面上激光开槽贯通背面钝化膜；⑽印刷背银电极浆料并烘干；⑾背面印刷铝浆并烘干；⑿在N型薄膜上印刷正银电极浆料并烘干；⒀高温烧结；⒁抗LID退火。本发明正面钝化膜的钝化作用和N型薄膜的场钝化作用可以降低少子复合速率，增强钝化效果；且N型薄膜可降低接触电阻，提高电池的光电转换效率。

主权项

1.一种选择性正面钝化PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于具体包括以下步骤：⑴对P型硅制绒；⑵在由步骤⑴所得产品的正面上形成N型薄膜；⑶在N型薄膜上对应正银电极图形的区域涂蜡，再烘干；⑷去除P型硅上未涂蜡区域的N型薄膜；⑸在由步骤⑷所得产品的正面上扩散磷源形成N型硅；⑹去除蜡和在扩散过程中形成的磷硅玻璃和周边PN结，并对产品的背面进行刻蚀；⑺对由步骤⑹所得产品进行退火；⑻在由步骤⑺所得产品的正面和背面上分别沉积正面钝化膜和背面钝化膜；⑼在由步骤⑻所得产品的背面上激光开槽贯通背面钝化膜，使P型硅露于开槽中；⑽在由步骤⑼所得产品的背面印刷背银电极浆料并烘干；⑾在由步骤⑽所得产品的背面印刷铝浆并烘干；⑿在由步骤⑾所得产品正面的N型薄膜上印刷正银电极浆料并烘干；⒀对由步骤⑿所得产品进行高温烧结，形成背银电极、全铝背场或铝栅线和正银电极，全铝背场或铝栅线通过开槽与P型硅相连；⒁对由步骤⒀所得产品进行抗LID退火。