[发明专利]一种提高效率的真空镀膜装置

摘要

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种提高效率的真空镀膜装置。它包括真空镀膜室、真空泵系统、蒸发器组件和加料组件；加料组件包括加料室、加料仓、送料机构和送料管，送料管的两端分别设置为进料口和出料口，进料口的高度高于出料口的高度，加料仓的底部设置有加料阀门。本装置通过送料机构将加料仓上装载的膜材输送至进料口处，进入到进料口内的膜材最终会由出料口输送至蒸发器组件内，以便于及时的为蒸发器组件添加新的膜材。该装置为蒸发器组件添加新的膜材时极为简便和快速，减少了手动为蒸发器组件添加膜材的次数和时间，从而能够提高整个真空镀膜装置的效率，具有很强的实用价值和市场推广价值。

主权项

1.一种提高效率的真空镀膜装置，其特征在于：它包括真空镀膜室、设置于真空镀膜室外周壁上且用于对真空镀膜室抽真空的真空泵系统、设置于真空镀膜室内用于蒸发膜材的蒸发器组件、设置于真空镀膜室内且位于蒸发器组件轮廓上方的基片架以及设置于真空镀膜室外侧且用于向蒸发器组件添加膜材的加料组件；所述加料组件包括密封的加料室、设置于加料室内的加料仓、设置于加料室内且位于加料仓轮廓下方的送料机构以及设置于送料机构一端的送料管，所述送料管靠近送料机构的端部设置为进料口，所述送料管的另一端设置为出料口，所述进料口的高度高于出料口的高度，所述出料口依次贯穿加料室和真空镀膜室后伸入至蒸发器组件的轮廓范围内，所述加料仓的底部设置有加料阀门，所述加料室的外周壁上设置有控制加料阀门开关的加料按钮以及用于控制送料机构送料的送料按钮。