[发明专利]复合薄膜晶体管和制造方法、阵列基板、显示面板和装置有效
申请号: | 201910308964.5 | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN109950257B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 张淼;唐川江;杨通;邵贤杰 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 张筱宁 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明实施例提供了一种复合薄膜晶体管,包括:至少两个P型薄膜晶体管、至少一个第一N型薄膜晶体管和至少一个第二N型薄膜晶体管。P型薄膜晶体管的有源层为P型掺杂低温多晶硅,第二N型薄膜晶体管的有源层为金属氧化物。由于在本发明实施例的复合薄膜晶体管中包括了至少两个P型薄膜晶体管、至少一个第一N型薄膜晶体管和至少一个第二N型薄膜晶体管及其相应的连接关系,当栅极的电压为正电压时,该复合薄膜晶体管在关态下的漏电流极低,此时等效关态电流值极低;当栅极电压为负电压时,该复合薄膜晶体管处于等效开态的状态,使得该复合薄膜晶体管等价为一种低漏电流的P型薄膜晶体管。 | ||
搜索关键词: | 复合 薄膜晶体管 制造 方法 阵列 显示 面板 装置 | ||
【主权项】:
1.一种复合薄膜晶体管,其特征在于,包括:至少两个P型薄膜晶体管、至少一个第一N型薄膜晶体管和至少一个第二N型薄膜晶体管;P型薄膜晶体管的有源层为P型掺杂低温多晶硅,第二N型薄膜晶体管的有源层为金属氧化物;两个P型薄膜晶体管的栅极和一个第一N型薄膜晶体管的栅极连接在一起,并与栅极信号输入端连接;其中一P型薄膜晶体管的漏极为复合薄膜晶体管的漏极,源极与第二N型薄膜晶体管的漏极连接,第二N型薄膜晶体管的源极为复合薄膜晶体管的源极;另一P型薄膜晶体管的源极与第一信号端连接,漏极与第一N型薄膜晶体管的源极连接,第一N型薄膜晶体管的漏极与第二信号端连接;第二N型薄膜晶体管的栅极与第一N型薄膜晶体管的源极连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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