[发明专利]复合薄膜晶体管和制造方法、阵列基板、显示面板和装置有效

专利信息
申请号: 201910308964.5 申请日: 2019-04-17
公开(公告)号: CN109950257B 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 张淼;唐川江;杨通;邵贤杰 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 北京市立方律师事务所 11330 代理人: 张筱宁
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明实施例提供了一种复合薄膜晶体管,包括:至少两个P型薄膜晶体管、至少一个第一N型薄膜晶体管和至少一个第二N型薄膜晶体管。P型薄膜晶体管的有源层为P型掺杂低温多晶硅,第二N型薄膜晶体管的有源层为金属氧化物。由于在本发明实施例的复合薄膜晶体管中包括了至少两个P型薄膜晶体管、至少一个第一N型薄膜晶体管和至少一个第二N型薄膜晶体管及其相应的连接关系,当栅极的电压为正电压时,该复合薄膜晶体管在关态下的漏电流极低,此时等效关态电流值极低;当栅极电压为负电压时,该复合薄膜晶体管处于等效开态的状态,使得该复合薄膜晶体管等价为一种低漏电流的P型薄膜晶体管。
搜索关键词: 复合 薄膜晶体管 制造 方法 阵列 显示 面板 装置
【主权项】:
1.一种复合薄膜晶体管,其特征在于,包括:至少两个P型薄膜晶体管、至少一个第一N型薄膜晶体管和至少一个第二N型薄膜晶体管;P型薄膜晶体管的有源层为P型掺杂低温多晶硅,第二N型薄膜晶体管的有源层为金属氧化物;两个P型薄膜晶体管的栅极和一个第一N型薄膜晶体管的栅极连接在一起,并与栅极信号输入端连接;其中一P型薄膜晶体管的漏极为复合薄膜晶体管的漏极,源极与第二N型薄膜晶体管的漏极连接,第二N型薄膜晶体管的源极为复合薄膜晶体管的源极;另一P型薄膜晶体管的源极与第一信号端连接,漏极与第一N型薄膜晶体管的源极连接,第一N型薄膜晶体管的漏极与第二信号端连接;第二N型薄膜晶体管的栅极与第一N型薄膜晶体管的源极连接。
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