[发明专利]曲面形状检查装置在审
申请号: | 201910309302.X | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN110411367A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 梅村聪;野津启司 | 申请(专利权)人: | AGC株式会社 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 董庆;刘多益 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种测定玻璃板的曲面形状的技术,其为即使相对于玻璃板的曲面的测定点不那么严格地垂直照射光,也能测定到测定点为止的距离的技术。本发明的曲面形状检查装置具备:共焦光学式传感器,该共焦光学式传感器通过对玻璃板的曲面中的测定点照射具有多个波长成分的光,同时接受所述光的在所述测定点反射的反射光,从而测定到所述测定点为止的距离;以及测定点移动机构,该测定点移动机构使所述玻璃板的所述曲面中的所述测定点的位置移动。 | ||
搜索关键词: | 测定点 玻璃板 曲面形状 光学式传感器 检查装置 移动机构 共焦 垂直照射 反射光 波长 反射 照射 | ||
【主权项】:
1.一种曲面形状检查装置,具备:共焦光学式传感器,该共焦光学式传感器通过对玻璃板的曲面中的测定点照射具有多个波长成分的光,同时接受所述光的在所述测定点反射的反射光,从而测定到所述测定点为止的距离;以及测定点移动机构,该测定点移动机构使所述玻璃板的所述曲面中的所述测定点的位置移动。
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