[发明专利]微发光二极管的转移设备及转移方法有效
| 申请号： | 201910309358.5 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110021687B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 谢俊杰;谭叶舟;罗振兴;向彬;桑建 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种微发光二极管的转移设备及转移方法，涉及显示技术领域。本公开的转移设备用于将微发光二极管转移至基板上，该转移设备包括滚筒，该滚筒包括筒侧壁、筒端壁及由筒侧壁和筒端壁包围的空腔；筒侧壁的外周面设有沿周向阵列排布的多个吸附槽，空腔与各吸附槽的底部连通；每个吸附槽均沿深度方向朝滚筒中轴线逐渐收缩，并与微发光二极管的一端匹配，用于吸附微发光二极管；筒端壁设有与空腔连通的开孔，通过开孔使得空腔形成负压状态。本公开的转移设备可提高转移精度和效率，改善产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 转移 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种转移设备，用于将微发光二极管转移至基板上，其特征在于，所述转移设备包括：滚筒，所述滚筒包括筒侧壁、筒端壁及由所述筒侧壁和所述筒端壁包围的空腔；所述筒侧壁的外周面设有沿周向阵列排布的多个吸附槽，所述空腔与各所述吸附槽的底部连通；每个所述吸附槽均沿深度方向朝所述滚筒中轴线逐渐收缩，并与所述微发光二极管的一端匹配，用于吸附所述微发光二极管；所述筒端壁设有与所述空腔连通的开孔，通过所述开孔使得所述空腔形成负压状态。
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