[发明专利]薄膜的制造方法有效
| 申请号： | 201910312665.9 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110085370B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 西康孝;中积诚 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14;B05D7/24;B05D3/06;B05D1/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明目的在于提供一种薄膜的制造方法，其代替现有技术的薄膜制造技术。本发明的薄膜的制造方法的特征在于，其包括：在所述成膜装置的第1槽中使含有微粒的分散液雾化的工序；将经雾化的分散液沿第1方向供给至第2槽顶部的入口中，并沿与第1方向相反的第2方向从第2槽顶部的出口排出经雾化的分散液，从而将经雾化的分散液经由所述成膜装置的第2槽搬送至第3槽的工序；将经雾化的所述分散液供给至第3槽中的基板上的工序；和使供给至所述基板上的所述分散液干燥的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用成膜装置制造薄膜的方法，其中，所述方法包括：在成膜装置的第1槽中使含有微粒的分散液雾化的工序；将经雾化的分散液沿第1方向供给至所述成膜装置的第2槽顶部的入口中，并沿与第1方向相反的第2方向从第2槽顶部的出口排出经雾化的分散液，从而将经雾化的分散液经由第2槽搬送至第3槽的工序；将经雾化的所述分散液供给至第3槽中的基板上的工序；和使供给至所述基板上的所述分散液干燥的工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910312665.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
