[发明专利]一种测试微元件电气性能的装置在审
| 申请号： | 201910313185.4 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN111830295A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 邢汝博 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/00 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种测试微元件电气性能的装置，所述装置包括：阵列设置的多个探针测试单元，所述探针测试单元包括依序层叠的基板单元、第一电极、压电薄膜以及第二电极；其中，所述第一电极和所述第二电极产生电压差构造为控制所述压电薄膜产生形变，相应的控制所述探针测试单元朝一侧弯曲。通过上述方式，本申请能够实现微元件电气性能测试且效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 元件 电气 性能 装置 | ||
【主权项】：
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