[发明专利]衬套的制造方法、基板支撑组件及基板处理装置在审
| 申请号： | 201910316819.1 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110394938A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 崔东旻;梁镇赫;丁永勋;卢润曙 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B29C45/00 | 分类号： | B29C45/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬套的制造方法、基板支撑组件及基板处理装置。基板支撑组件可包括板、顶杆及衬套。所述板上可用于配置基板。所述顶杆为了支撑所述基板的底面而能够贯通所述板向上方及下方移动。所述衬套可具有所述顶杆贯通所述板移动时用于引导所述顶杆的移动的内部孔。所述衬套可通过利用成型部件的注塑成型工程得到，所述成型部件为了同时形成所述衬套的外形及所述内部孔而包括用于形成所述衬套的外形的成型空间及用于形成所述内部孔的内部销。 | ||
| 搜索关键词： | 衬套 顶杆 基板支撑组件 内部孔 基板处理装置 成型部件 基板 移动 贯通 成型空间 注塑成型 底面 可用 制造 支撑 配置 | ||
【主权项】：
1.一种衬套的制造方法，用于制造具有用于顶杆移动的内部孔的衬套，其特征在于，包括：提供为了同时形成所述衬套的外形及所述内部孔而包括用于形成所述衬套的外形的成型空间及用于形成所述内部孔的内部销的成型部件的步骤；执行向所述成型空间内填充用于形成衬套的物质的注塑成型工程的步骤；以及向所述成型空间内填充用于形成所述衬套的物质时或向所述成型空间内填充用于形成所述衬套的物质后冷却所述内部销的步骤。
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