[发明专利]一种平面波离轴干涉仪扩束装置在审

专利信息
申请号: 201910318437.2 申请日: 2019-04-19
公开(公告)号: CN110007470A 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 庞小利;吕敏;胡明勇;封志伟;赵奇;庞琴 申请(专利权)人: 合肥瑞利光学仪器有限公司
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09;G02B7/00;G02B7/182
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 王华英
地址: 230000 安徽省合肥市合欢*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提出一种平面波离轴干涉仪扩束装置,干涉仪通过限位机构设置在干涉仪平台上,所述扩束装置包括:支撑装置;主镜机构,设置在支撑装置内,与支撑装置可拆卸连接;次镜机构,设置在支撑装置内。本发明提出的一种平面波离轴干涉仪扩束装置,产生的大口径平面波无像差、无遮拦。
搜索关键词: 干涉仪 扩束装置 支撑装置 平面波 离轴 可拆卸连接 限位机构 大口径 次镜 像差 主镜
【主权项】:
1.一种平面波离轴干涉仪扩束装置,其特征在于,干涉仪通过限位机构设置在干涉仪平台上,所述扩束装置包括:支撑装置;主镜机构,设置在支撑装置内,与支撑装置可拆卸连接;次镜机构,设置在支撑装置内。
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