[发明专利]一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法

摘要

本发明公开了一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，包括以下步骤；步骤一：将切割好的氮化硅陶瓷覆铜板放入10℃‑50℃纯水中超声水洗1‑2min；步骤二、将清洗干净的氮化硅陶瓷覆铜板放入含有一定铜缓蚀剂的溶液中；步骤三、将10%‑40%浓度的双氧水缓慢均匀的滴入含有铜缓蚀剂的溶液中，取出氮化硅陶瓷覆铜板；步骤四、将氮化硅陶瓷覆铜板用纯水冲洗后，放入5%‑10%浓度的稀盐酸溶液中，去除表面轻微的氧化层，再一次用纯水冲洗干净；步骤五、将黑边预氧化过后的氮化硅陶瓷覆铜板放入氢氟酸的溶液中，超声浸泡30‑40min，彻底洗去黑边。本发明通过预氧化，再清洗的方法，能够在不伤害氮化硅表面铜皮的情况下，洗去相应的黑膜，可以彻底去除黑边。

主权项

1.一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法，其特征在于：包括以下步骤；步骤一：将切割好的氮化硅陶瓷覆铜板放入10℃‑50℃纯水中超声水洗1‑2min，去除表面残留的切割粉尘；步骤二、将清洗干净的氮化硅陶瓷覆铜板放入含有一定铜缓蚀剂的溶液中；步骤三、将10%‑40%浓度的双氧水缓慢均匀的滴入含有铜缓蚀剂的溶液中，并持续性的搅拌，直至双氧水含量占到总溶液的3%‑8%，取出氮化硅陶瓷覆铜板，黑边大部分被氧化成二氧化硅；步骤四、将氮化硅陶瓷覆铜板用纯水冲洗后，放入5%‑10%浓度的稀盐酸溶液中，去除表面轻微的氧化层，再一次用纯水冲洗干净；步骤五、将黑边预氧化过后的氮化硅陶瓷覆铜板放入氢氟酸的溶液中，超声浸泡30‑40min，彻底洗去黑边。