[发明专利]一种旋转式制备三维原子探针样品的方法

摘要

本发明属于材料制备领域，特别是一种旋转式制备三维原子探针样品的方法。包括如下步骤：步骤1：将平面块状材料放置于样品台，在平面块状材料上表面，沿感兴趣区域沉积Pt层；步骤2：提取类三棱柱长条样品：采用聚焦离子束，将感兴趣区域与基体分离；步骤3：旋转类三棱柱长条样品：将步骤2提取的类三棱柱长条样品转移至转动针尖上，转动针尖转动，再将转动之后的类三棱柱长条样品转移至原位纳米操纵杆上；步骤4：成形针尖样品。本申请通过将类三棱柱长条样品在仪器旋转90°后，再进一步得到针尖样品，经过激光激发后，得到的三维原子探针数据经过软件重构后可得到界面以及界面两侧组织结构的数据，利于准确地分析针尖样品中的元素分布和结构。

主权项

1.一种旋转式制备三维原子探针样品的方法，其特征在于，所述方法采用聚焦离子束系统，包括如下步骤：步骤1：将平面块状材料放置于样品台，在平面块状材料上表面，沿感兴趣区域沉积一层长方形Pt层，所述长方形区域包含界面以及界面两侧组织，界面平行于长方形的长边，且处于长方形区域的中间位置；步骤2：提取类三棱柱长条样品：采用聚焦离子束，将感兴趣区域与基体分离，形成类三棱柱长条样品，并采用原位纳米操纵杆进行提取；步骤3：旋转类三棱柱长条样品：将步骤2提取的类三棱柱长条样品转移至转动针尖上，采用外置的转动装置将转动针尖转动，然后再将转动之后的类三棱柱长条样品转移至原位纳米操纵杆上；步骤4：成形针尖样品步骤4‑1：将旋转之后的类三棱柱长条样品转移至硅基座上；步骤4‑2：利用离子束环切，得到用于原子探针技术表征的针尖样品。