[发明专利]用于晶圆硅片的伸缩输送装置

摘要

本申请公开了一种用于晶圆硅片的伸缩输送装置，包括支撑板、固定板、活动板、第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第四传动轮、第一主动轮和输送带，固定板通过一对侧板与支撑板固定连接，活动板通过滑块和滑轨与支撑板连接，第一传动轮通过轴与固定板连接，第二传动轮通过轴与活动板连接，第四传动轮通过轴与支撑板连接，第三传动轮通过轴和侧板与活动板的下端面连接，第一主动轮通过轴和侧板与支撑板的下端面连接，输送带依次连接传动轮和主动轮，支撑板上设有与活动板连接的伸缩气缸。该用于晶圆硅片的伸缩输送装置通过伸缩气缸推动活动板从而输送带可延伸至花篮内，提高自动化装蓝的效率。

主权项

1.一种用于晶圆硅片的伸缩输送装置，其特征在于：包括支撑板、固定板、活动板、第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第四传动轮、第一主动轮和输送带，所述固定板通过一对侧板与支撑板固定连接，所述固定板两侧的支撑板上设有一对滑轨，所述活动板通过一对滑块与滑轨连接，所述第一传动轮通过轴与固定板远离活动板的一端连接，所述第二传动轮通过轴与活动板远离固定板的一端连接，所述第四传动轮通过轴与支撑板靠近活动板的一端连接，所述第三传动轮通过轴和侧板与活动板的下端面连接，所述第一主动轮通过轴和侧板与支撑板的下端面连接，所述支撑板上设有通孔，所述输送带穿过通孔后依次与第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮、第四传动轮、第一主动轮连接，所述支撑板上还设有伸缩气缸，所述伸缩气缸的输出端通过连接块与活动板连接。