[发明专利]一种TFT-LCD玻璃基板的研磨抛光方法在审

专利信息
申请号: 201910328173.9 申请日: 2019-04-23
公开(公告)号: CN109909869A 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 彭寿;张冲;韩金全 申请(专利权)人: 蚌埠中光电科技有限公司
主分类号: B24B37/04 分类号: B24B37/04;B24B37/24;C09G1/02
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及一种TFT‑LCD玻璃基板的研磨抛光方法,包括现有粗磨、细磨步骤,其特征在于包括以下步骤:1).第一阶段采用研磨机粗磨,磨削量为15‑20μm,粗造度控制在0.15μm以内;2).第二阶段采用研磨机细磨,磨削量为5‑10μm,粗造度控制在0.1μm以内;3).第三阶段采用研磨机研磨抛光,研磨磨盘和磨盘轴承为铁材质,研磨垫材质为仿麂皮类型,使上盘频率为50‑60赫兹、下盘频率为20‑30赫兹,研磨时间为5‑10分钟,磨削量为5‑10μm,粗造度控制在0.01μm以内。本发明优点:(1)可根据工艺要求更合理调节转速,提高了研磨精度和研磨效率;(2)抛光机受温度影响小,转盘工作稳定,大大提高了研磨精度;(3)减少了欠研磨,产品质量得到提升。
搜索关键词: 研磨 研磨抛光 粗造度 磨削量 研磨机 磨盘 粗磨 细磨 工艺要求 工作稳定 温度影响 研磨效率 仿麂皮 抛光机 铁材质 研磨垫 基板 上盘 下盘 转盘 轴承
【主权项】:
1.一种TFT‑LCD玻璃基板的研磨抛光方法,包括现有粗磨、细磨步骤,其特征在于包括以下步骤:1).第一阶段为粗磨,浮法生产的TFT‑LCD玻璃基板先采用研磨机进行粗磨,研磨磨盘和磨盘轴承为铁材质,研磨垫材质为聚氨酯发泡材质、研磨液为抛光粉,磨削量为15‑20μm,使玻璃的粗造度控制在0.15μm以内;2).第二阶段采用研磨机进行细磨,研磨磨盘和磨盘轴承为铁材质,研磨垫材质为聚氨酯发泡材质,磨削量为5‑10μm,使玻璃的粗造度控制在0.1μm以内;3).第三阶段采用研磨机进行研磨抛光,研磨磨盘和磨盘轴承为铁材质,研磨垫材质为仿麂皮类型,使上盘频率为50‑60赫兹、下盘频率为20‑30赫兹,研磨时间为5‑10分钟,磨削量为5‑10μm,使玻璃的粗造度控制在0.01μm以内。
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