[发明专利]涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器

摘要

本发明提供辅助电极用的接触孔的数量最优化的有机EL显示器。本发明的一个方式的涂敷装置包括基片保持部、排出单元和移动机构。排出单元包括多个在第一方向排列地设置有多个喷嘴的喷头。移动机构使排出单元和基片保持部沿与第一方向交叉的第二方向相对地移动。基片包括：与多个副像素对应地设置的多个像素电极；堤，其覆盖多个像素电极并且形成有多个使至少一个像素电极露出的开口部；和用于将对置电极与辅助电极电连接的多个接触孔，其中该对置电极与多个像素电极相对。对每2个以上的副像素形成接触孔。排出单元从喷嘴向由基片保持部保持的基片的开口部排出有机材料的液滴。

主权项

1.一种涂敷装置，其特征在于，包括：用于保持基片的基片保持部；排出单元，其包括多个在第一方向排列地设置有多个喷嘴的喷头；移动机构，其用于使所述排出单元和所述基片保持部沿与所述第一方向交叉的第二方向相对地移动。所述基片包括：与多个副像素对应地设置的多个像素电极；堤，其覆盖所述多个像素电极并且形成有多个使至少一个所述像素电极露出的开口部；和用于将对置电极与辅助电极电连接的多个接触孔，其中所述对置电极与所述多个像素电极相对，对每2个以上的所述副像素形成所述接触孔，所述排出单元从所述喷嘴向由所述基片保持部保持的所述基片的开口部排出有机材料的液滴。