[发明专利]酸刻蚀硅晶片废酸液处理方法和系统在审
| 申请号： | 201910345650.2 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110156062A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 杨招艺;虞红波;徐俊;王坤琴 | 申请（专利权）人： | 北京环球中科水务科技有限公司 |
| 主分类号： | C01F11/22 | 分类号： | C01F11/22 |
| 代理公司： | 济南信达专利事务所有限公司 37100 | 代理人： | 李世喆 |
| 地址： | 100083 北京市海淀区学清路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种酸刻蚀硅晶片废酸液处理方法和系统，该处理方法包括：将钠盐溶液添加到酸刻蚀硅晶片废酸液中，并持续搅拌30～180min，形成第一固液混合物，通过离心，得到氟硅酸钠固体和第一滤液；向第一滤液中添加氢氧化钠溶液，控制pH至2‑4，并持续搅拌20～60min，形成第二固液混合物，通过离心，得到氟化氢钠固体和第二滤液；向第二滤液中添加氯化钙溶液，调节pH至2‑4，持续搅拌20～60min，形成第三固液混合物，通过离心，得到氟化钙固体和第三滤液；向第三滤液添加石灰乳，调节pH至8‑9，分离沉淀物和第四滤液，回收第四滤液，并将沉淀物作为固废处理。本发明提供的方案实现了对废酸液资源化利用。 | ||
| 搜索关键词： | 废酸液 固液混合物 持续搅拌 硅晶片 酸刻蚀 氢氧化钠溶液 分离沉淀物 氯化钙溶液 资源化利用 氟硅酸钠 氟化氢钠 滤液添加 钠盐溶液 氟化钙 石灰乳 回收 | ||
【主权项】：
1.一种酸刻蚀硅晶片废酸液处理方法，其特征在于，包括：制备氟硅酸钠固体的步骤：搅拌酸刻蚀硅晶片废酸液，并按照一定速率，将钠盐溶液添加到所述酸刻蚀硅晶片废酸液中，并持续搅拌30～180min，形成第一固液混合物，对所述第一固液混合物进行离心操作，得到氟硅酸钠固体和第一滤液；制备氟化氢钠固体的步骤：搅拌所述第一滤液，向所述第一滤液中添加氢氧化钠溶液，控制所述第一滤液pH至2‑4，并持续搅拌20～60min，形成第二固液混合物，对所述第二固液混合物进行离心操作，得到氟化氢钠固体和第二滤液；制备氟化钙固体的步骤：搅拌所述第二滤液，向所述第二滤液中添加氯化钙溶液，并采用氢氧化钠溶液调节所述第二滤液pH至2‑4，持续搅拌20～60min，形成第三固液混合物，对所述第三固液混合物进行离心操作，得到氟化钙固体和第三滤液；中和处理步骤：搅拌所述第三滤液，向所述第三滤液添加石灰乳，调节所述第三滤液pH至8‑9，形成沉淀物和第四滤液，分离所述沉淀物和所述第四滤液，回收所述第四滤液，并将所述沉淀物作为固废处理。
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