[发明专利]一种填充虚拟图案的方法在审
| 申请号： | 201910347352.7 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110110418A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 曹云 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种填充虚拟图案的方法，包括以下步骤：提供一待填充虚拟图案的版图；将所述待填充虚拟图案的版图虚拟划分为多个单元格待填充区；以及根据GDS文件对所述单元格待填充区填充虚拟图案。本发明通过将待填充虚拟图案的版图虚拟划分为多个单元格待填充区，使得将所述单元格待填充区需要填充的虚拟图案针对性的填充到其中，从而在填充虚拟图案之后，产生的GDS文件所占的存储空间较小。另外，在每个所述GDS文件中，具有与其对应的所述单元格待填充区需要填充的所有虚拟图案，使得每个GDS文件可以对至少一个单元格待填充区填充所有的虚拟图案。 | ||
| 搜索关键词： | 虚拟图案 填充 单元格 填充区 虚拟 存储空间 | ||
【主权项】：
1.一种填充虚拟图案的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一待填充虚拟图案的版图；将所述待填充虚拟图案的版图虚拟划分为多个单元格待填充区；以及根据GDS文件对所述单元格待填充区填充虚拟图案。
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