[发明专利]一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构在审
| 申请号： | 201910350766.5 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110144557A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 黄兴盛;范刚;夏绪干;张绍璞 | 申请（专利权）人： | 厦门阿匹斯智能制造系统有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郭锦辉;陈艺琴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市集美区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。 | ||
| 搜索关键词： | 架车 托盘机构 自转机构 驱动电机 真空溅射镀膜 链条机构 轨道 连续型 模块化 转架 上表面 下表面 拼接 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，其特征在于，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。
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