[发明专利]光罩取放装置有效
| 申请号： | 201910351292.6 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110127375B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 龚昌锋;田应超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B08B5/02 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种光罩取放装置，包括第一存储区，用于存储待处理光罩；中转区，用于所述待处理光罩的中转站；清洁区，用于清洗所述待处理光罩；第二存储区，用于存储目标光罩；抓取组件，用于将所述待处理光罩从所述第一存储区取出；所述待处理光罩经所述抓取组件取出，并运输至所述中转区，以及经所述中转区运输至所述清洁区或者所述第二存储区。本申请设计了一种光罩取放装置，通过控制抓取组件以及可移动固定组件对该待处理光罩进行自动搬运及清洁，避免了因人工的操作而出现损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩取放 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光罩取放装置，其特征在于，包括：第一存储区，用于存储待处理光罩；中转区，用于所述待处理光罩的中转站；清洁区，用于清洗所述待处理光罩；第二存储区，用于存储目标光罩；抓取组件，用于将所述待处理光罩从所述第一存储区取出；所述待处理光罩经所述抓取组件取出，并运输至所述中转区，以及经所述中转区运输至所述清洁区或者所述第二存储区。
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