[发明专利]一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统和处理方法

摘要

本发明为一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统和处理方法。一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统，包括：收集罐、喷淋塔、液封罐、压滤机给料泵、废液回流泵、废液缓冲罐、水流喷射泵、阻火器、板框式压滤机；所述的收集罐上方设置有所述的喷淋塔；所述的喷淋塔与所述的液封罐连通；所述的废液缓冲罐底部通过所述的废液回流泵与所述的水流喷射泵连通；所述的液封罐与所述的水流喷射泵连通；所述的水流喷射泵与所述的废液缓冲罐连通；所述的收集罐通过所述的压滤机给料泵与所述的板框式压滤机连通。本发明所述的一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统和处理方法，解决排放过程中环境污染问题和劳动强度大的问题。

主权项

1.一种三氯氢硅生产中硅粉残渣的处理系统，其特征在于，所述的处理系统包括：收集罐、喷淋塔、液封罐、压滤机给料泵、废液回流泵、废液缓冲罐、水流喷射泵、阻火器、板框式压滤机；所述的收集罐设置有硅粉残渣、杂质氯硅烷和絮凝剂的进口，所述的收集罐上方设置有所述的喷淋塔，用于将所述的收集罐中生成的酸性气体，输送到所述的喷淋塔进行洗涤；所述的喷淋塔与所述的液封罐连通，所述的喷淋塔中洗涤后的气体输送到所述的液封罐中进行进一步的洗涤；所述的液封罐顶部设置有新鲜水的进口；所述的废液缓冲罐设置有新鲜水、碱性液体的进口，所述的废液缓冲罐底部通过所述的废液回流泵与所述的水流喷射泵连通，将所述的废液缓冲罐中的液体，通过所述的废液回流泵输送至所述的水流喷射泵，形成负压；所述的液封罐与所述的水流喷射泵连通，所述的水流喷射泵中形成的负压，使所述的液封罐中洗涤后的气体输送至所述的水流喷射泵中，与所述的水流喷射泵中的碱性液体进行进一步的洗涤净化；所述的水流喷射泵与所述的废液缓冲罐连通，所述的水流喷射泵中洗涤后的气体随水流进入所述的废液缓冲罐，气液分离；所述的废液缓冲罐通过高点放空管与所述的阻火器连接，所述的废液缓冲罐中分离后的气体，通过所述的高点放空管和所述的阻火器安全放空；所述的收集罐通过所述的压滤机给料泵与所述的板框式压滤机连通，所述的收集罐中的液体通过所述的压滤机给料泵，输送至所述的板框式压滤机进行压滤。