[发明专利]静电卡盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子设备的制造方法在审
| 申请号： | 201910369383.2 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111118444A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 柏仓一史;石井博 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电卡盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子设备的制造方法，所述静电卡盘系统用于吸附被吸附体，其特征在于，包括设有至少一个切口部的静电卡盘板部，所述静电卡盘板部具有与所述切口部相邻的第一区域和比所述第一区域远离所述切口部配置的第二区域，所述静电卡盘板部的所述第一区域处的对于所述被吸附体的每单位面积的静电引力大于所述静电卡盘板部的所述第二区域处的对于所述被吸附体的每单位面积的静电引力。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 系统 装置 吸附 方法 电子设备 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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