[发明专利]平晶旋转承载装置在审
申请号: | 201910372066.6 | 申请日: | 2019-05-06 |
公开(公告)号: | CN110108229A | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 韩森;王全召;王芳;卢庆杰;吴鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉;刘国华 |
地址: | 215164 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种平晶旋转承载装置,包括:固定盘;旋转承载部,包含可转动地设置在固定盘上并且能够在第一位置和第二位置之间进行切换的旋转盘以及设置在该旋转盘上的承载盘;以及限定部,用于在旋转盘切换至第一位置时将旋转盘限定在第一位置以及在旋转盘切换至第二位置时将旋转盘限定在第二位置,其中,限定部包含设置在旋转盘的侧表面的一个限位件以及分别位于该限位件的两侧并且沿固定盘的圆周方向间隔设置在该固定盘的侧表面的两个阻挡件,第一位置作为第一限定状态位置,是限位件与一个阻挡件的边缘相接触时限位件所处的位置,第二位置作为第二限定状态位置,是限位件与另一个阻挡件的边缘相接触时限位件所处的位置。 | ||
搜索关键词: | 旋转盘 第二位置 第一位置 固定盘 限位件 阻挡件 旋转承载装置 状态位置 侧表面 平晶 位件 圆周方向间隔 承载盘 可转动 承载 | ||
【主权项】:
1.一种平晶旋转承载装置,安装在具有参考平晶承载装置的激光干涉检测设备上并且与所述参考平晶承载装置同光轴设置,用于承载待测平晶并带动该待测平晶绕中心轴线进行转动,其特征在于,包括:固定盘,用于固定安装;旋转承载部,包含可转动地设置在所述固定盘上并且能够在第一位置和第二位置之间进行切换的旋转盘以及设置在该旋转盘上用于放置所述待测平晶的承载盘;以及限定部,用于在所述旋转盘切换至所述第一位置时将所述旋转盘限定在所述第一位置以及在所述旋转盘切换至所述第二位置时将所述旋转盘限定在所述第二位置,其中,所述限定部包含设置在所述旋转盘的侧表面的一个限位件以及分别位于该限位件的两侧并且沿所述固定盘的圆周方向间隔设置在该固定盘的侧表面的两个阻挡件,所述阻挡件的边缘与所述限位件相接触,用于阻挡所述旋转盘的转动,所述第一位置作为第一限定状态位置,是所述限位件与一个所述阻挡件的边缘相接触时所述限位件所处的位置,所述第二位置作为第二限定状态位置,是所述限位件与另一个所述阻挡件的边缘相接触时所述限位件所处的位置。
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