[发明专利]一种碱扩散法制备电沉积级别氧化物薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种碱扩散法制备电沉积级别氧化物薄膜的方法。氧化物膜可为SiO2、TiO2、ZrO2膜等多种。制备方法的第一步是在基体上浸涂制备较均匀的碱膜；第二步为将第一步制备好一层碱膜的基体浸入硅酸烷基酯、钛酸烷基酯等溶液中浸泡自生长相应的氧化物薄膜。本发明采用简单的碱扩散法过程制备氧化物薄膜，得到的氧化物薄膜与电沉积法的厚度类似，且与基体结合力优异。制备过程无需电源，可用于不易通电的，形貌复杂的金属工件，也可应用于在其它不导电的基底上制备氧化物薄膜；制备过程简单，工艺灵活，适合工业化生产。

主权项

1.一种碱扩散法制备电沉积级别氧化物薄膜的方法，其特征在于，包括两个步骤：第一步是在基底表面制备一层碱膜:1）配制氢氧化钠溶液，将清洗除油后的基体浸入氢氧化钠溶液中，让氢氧化钠扩散到基体上，取出后烘干得到一层碱膜；第二步是氧化物薄膜的自生长：2）将覆盖了碱膜的基体浸入硅烷前驱液中自生长氧化物薄膜，取出烘干，得到与基体结合的氧化物薄膜。