[发明专利]一种开盒机有效
申请号: | 201910374048.1 | 申请日: | 2019-05-07 |
公开(公告)号: | CN110217741B | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 张庆钊;陈百捷;姚广军;王镇清 | 申请(专利权)人: | 芯导精密(北京)设备有限公司 |
主分类号: | B67B7/00 | 分类号: | B67B7/00;H01L21/673 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 代芳 |
地址: | 100176 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种开盒机,包括背板,背板上设有用于固定门板的获取机构,背板的一侧通过旋转副连接有滑轨架,背板的另一侧通过缓冲机构与滑轨架连接,滑轨架能够在水平驱动机构和垂直驱动机构的作用下分别沿水平方向和垂直方向运动。本发明使得门板更容易被开启,还降低了晶圆盒的振动,简化开盒步骤,缩短了开盒时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 开盒机 | ||
【主权项】:
1.一种开盒机,其特征在于:包括背板,所述背板上设有用于固定门板的获取机构,所述背板的一侧通过旋转副连接有滑轨架,所述背板的另一侧通过缓冲机构与所述滑轨架连接,所述滑轨架能够在水平驱动机构和垂直驱动机构的作用下分别沿水平方向和垂直方向运动。
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