[发明专利]一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法在审
申请号: | 201910375270.3 | 申请日: | 2019-05-07 |
公开(公告)号: | CN110135209A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 林生财;张成安;魏纯;刘熠 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G06K7/10 | 分类号: | G06K7/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种外延片编码读取装置。所述外延片编码读取装置包括,机体;第一载料部,连接于机体,用于放置需要读取编码的晶片;校正部,连接于机体,用于对晶片位置进行调节;扫码部,连接于机体,用于读取晶片上的编码;第二载料部,连接于机体,用于放置读取编码后的晶片;第一运料部,连接于机体,用于将第一载料部的晶片移动至校正部;第二运料部,连接于机体,用于将位于校正部的晶片移动至扫码部;第三运料部,连接于机体,用于将位于扫码部的晶片移动至第二载料部;所述第一运料部和第二运料部为一体结构并通过第一连接部滑动连接于机体。 | ||
搜索关键词: | 运料 外延片 读取 编码读取装置 晶片移动 校正部 晶片 第一连接部 编码读取 滑动连接 晶片位置 一体结构 | ||
【主权项】:
1.一种外延片编码读取装置,其特征在于:所述外延片编码读取装置(100)包括,机体(10);第一载料部(31),连接于机体(10),用于放置需要读取编码的晶片(40);校正部(32),连接于机体(10),用于对晶片(40)位置进行调节;扫码部(33),连接于机体(10),用于读取晶片(40)上的编码;第二载料部(34),连接于机体(10),用于放置读取编码后的晶片(40);第一运料部(21),连接于机体(10),用于将第一载料部(31)的晶片(40)移动至校正部(32);第二运料部(22),连接于机体(10),用于将位于校正部(32)的晶片(40)移动至扫码部(33);第三运料部(23),连接于机体(10),用于将位于扫码部(33)的晶片(40)移动至第二载料部(34);所述第一运料部(21)和第二运料部(22)为一体结构并通过第一连接部(24)滑动连接于机体(10)。
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