[发明专利]蒸镀用掩膜板装置及其操作方法有效
| 申请号： | 201910375487.4 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN109972088B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 谭伟;姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀用掩膜板装置及其操作方法，所述蒸镀用掩膜板装置包括一第一贴附板、一掩膜板及一第二贴附板，其中所述第一贴附板配置用以贴附在所述掩膜板的一下表面，所述掩膜板的一上表面配置用以贴附在所述基板的一下表面，所述第二贴附板配置用以贴附在所述基板的一上表面，并用以对所述基板下方的所述掩膜板提供一吸引力，以将所述掩膜板保持固定在所述基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用掩膜板 装置 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用掩膜板装置，配置用以放置在一蒸镀腔中，并且遮挡一基板，其特征在于：所述蒸镀用掩膜板装置包括一第一贴附板、一掩膜板及一第二贴附板，其中所述第一贴附板配置用以贴附在所述掩膜板的一下表面，所述掩膜板的一上表面配置用以贴附在所述基板的一下表面，所述第二贴附板配置用以贴附在所述基板的一上表面，并用以对所述基板下方的所述掩膜板提供一吸引力，以将所述掩膜板保持固定在所述基板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910375487.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种微电极沉积掩膜的制备方法
- 下一篇：一种超厚含氢类金刚石涂层的制备方法
- 同类专利
- 专利分类
