[发明专利]一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统及方法有效

专利信息
申请号: 201910379460.2 申请日: 2019-05-08
公开(公告)号: CN111908475B 公开(公告)日: 2023-02-07
发明(设计)人: 陈建祥;秦小勇;张世斌;常成圣;焦志敏 申请(专利权)人: 河南尚宇新能源股份有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 代理人: 杨明环
地址: 454550 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明属于三氯氢硅生产技术领域,公开一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统及方法。该回收系统包括氯化氢预热器和合成炉,氯化氢预热器的出气口与合成炉的进气口相连,还包括气流干燥塔、捕集器和缓冲罐,气流干燥塔的底部与缓冲罐相连,气流干燥塔的下部设有氯化氢气体进口,氯化氢气体进口与氯化氢预热器的出气口相连,气流干燥塔的上部设有湿法除尘循环液喷淋组件,气流干燥塔的顶部与捕集器下部的进料口相连,捕集器底部设有排料管,捕集器顶部的出气口与合成炉的进气口相连,缓冲罐底部设有放料管。本发明可将湿法除尘循环液中的氯硅烷尽可能回收,不能利用的固相再去淋洗水解处理,降低了淋洗的负荷,也解决了金属氯化物对系统的影响。
搜索关键词: 一种 三氯氢硅 湿法 除尘 循环 回收 系统 方法
【主权项】:
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