[发明专利]一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201910379954.0 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN110158042B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李培林;文宏福 | 申请（专利权）人： | 广东欧莱高新材料股份有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/15;B22F3/24;B22F1/00;B22F5/00 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 程毅 |
| 地址： | 512000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种钼铌合金旋转靶及其制备方法，其通过将钼粉和铌粉装入模具并在冷等静压作用下成为大尺寸的空心钼铌管压坯，随后装入包套中真空焊接密封，热等静压烧结成管坯，在后期机加工后最终制成钼铌旋转靶材。本制备方法能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小。通过对所得钼铌合金旋转靶进行检测，其密度大于9.97g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 合金 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钼铌合金旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)制备粒度范围为60‑150微米的大颗粒钼铌粉体；2)粗/细混合粉料的准备：将步骤1)中的大颗粒钼铌粉体置于混料机内，投入钼粉和铌粉，在氩气氛围下充分混合得粗/细混合粉料；3)冷等静压工艺：将步骤2)所制得的粗/细混合粉料装入冷等静压模具内，密封后在冷等静压作用下制得空心钼铌压坯管；4)机加工：经过机加工车床将压坯管外缘及端面修整平齐；5)热等静压烧结：将步骤4)所制的压坯管放入热等静压圆包套内，加热并抽真空，焊封好密封口后进行热等静压处理，烧结成钼铌合金管坯；6)退火：将步骤5)所得的钼铌合金管坯进行热处理退火；7)后期镗孔及机加工：将退火后的管坯进行后期镗孔及机加工修整，制得钼铌合金旋转靶材。
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