[发明专利]用于真空处理设备的抽吸抓爪的保持装置

摘要

用于抽吸抓爪或真空处理设备的基部的另一接口件的保持装置，其设计成可拆卸且无需工具地将抽吸抓爪附接到基部，其具有相互垂直的第一、第二方向，其包括基部侧和抽吸抓爪侧，基部侧包括用于抽吸抓爪侧的滑座插座，并限定了滑动平面和滑动方向，抽吸抓爪侧包括布置在滑动平面的板形滑鞋，滑鞋沿着滑动方向处于与滑座插座的后接合位置，滑鞋线性滑动到基部侧的预期组装位置，滑动方向沿第二方向延伸，滑座插座具有包围并正后方接合滑鞋的区域，区域还限定沿第一方向延伸的插入开口，滑座插座、插入开口和滑鞋设计成使滑鞋沿第二方向滑动到滑座插座，或滑鞋沿第一方向经插入开口插入滑座插座并绕第一方向转到后接合位置和滑座插座的预期组装位置。

主权项

1.一种用于抽吸抓爪(12)或用于真空处理设备(2)的基部(13)处的另一接口元件的保持装置(14)，/n其中，所述保持装置(14)设计成可拆卸且优选地无需工具地将所述抽吸抓爪(12)附接到所述基部(13)，并且所述保持装置(14)具有第一方向(20)和与所述第一方向(20)垂直的第二方向(22)，/n其中，所述保持装置(14)包括基部侧部分(16)和抽吸抓爪侧部分(18)，/n其中，所述基部侧部分(16)包括用于所述抽吸抓爪侧部分(18)的滑座插座(28)，其中限定了滑动平面(32)和滑动方向(30)，/n其中，所述抽吸抓爪侧部分(18)包括优选为板形的滑鞋(34)，所述滑鞋(34)构造成布置在所述滑座插座(28)的所述滑动平面(32)中，并且沿着所述滑动方向(30)且处于与所述滑座插座(28)正后方接合位置中，所述滑鞋(34)可线性滑动到所述基部侧部分(16)上的预期的组装位置中，/n其中，所述滑座插座(28)的所述滑动方向(30)沿所述第二方向(22)延伸，/n其中，所述滑座插座(28)具有包围并正后方接合所述滑鞋(34)的区域(38)，所述区域(38)另外限定沿所述第一方向(20)延伸的插入开口(40)，/n其中，所述滑座插座(28)和所述插入开口(40)以及所述滑鞋(34)设计成使得所述滑鞋可沿所述第二方向(22)滑动到所述滑座插座(28)中，或者，所述滑鞋可沿所述第一方向(20)通过所述插入开口(40)插入所述滑座插座(28)中并且然后可绕着所述第一方向(20)旋转到所述后方接合位置中以及所述滑座插座(28)中的预期的组装位置中。/n