[发明专利]阵列基板和阵列基板的制备方法

摘要

本发明提供一种阵列基板和阵列基板制备方法，阵列基板包括薄膜晶体管，薄膜晶体管包括栅极、有源层、栅绝缘层、源极、以及漏极，有源层包括层叠设置的第一有源层和第二有源层，第一有源层和第二有源层材料不同，以提升薄膜晶体管的开态电流，栅绝缘层设置于栅极与有源层之间，源极、漏极与有源层电性连接；本发明将有源层设置为材料不同的第一有源层和第二有源层，可以降低与栅绝缘层的接触势垒，或者缩小有源层空乏区，从而提升了薄膜晶体管的开态电流。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：栅极；有源层，包括叠层设置的第一有源层和第二有源层，所述第一有源层和所述第二有源层材料不同，以提升薄膜晶体管的开态电流；栅绝缘层，设置于所述栅极与所述有源层之间；源极，与所述有源层电性连接；漏极，与所述有源层电性连接。