[发明专利]一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光方法及系统在审
| 申请号： | 201910403643.3 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111954386A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 徐珍华;梅文辉;王瑞;汪孝军;劳仲标 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 孙志一;苏利 |
| 地址： | 528437 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种阻焊线路一体曝光的LD多光谱曝光方法，包括以下步骤S1、将若干个不同波长的LD光线进行组合合光；S2、合光后的光线经过反射镜反射到空间光调制器；S3、由空间光调制器通过图形调制把数字信号转化成光信号；S4、将空间光调制器投射的光线经过宽光谱成像系统成像在曝光板上，通过对不同波长的激光进行合光，能使两个或两个以上的激光作为曝光设备的光源，使用两个或以上的激光作为设备的光源，能够保证系统数值孔径小，成像质量高；激光单色性高、曝光性能好；系统景深达，有利于保证产品的良率；使得系统成像质量既可以达到线路制程的要求，使设备不仅满足阻焊制程，同时具备线路生产的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线路 一体 曝光 ld 光谱 方法 系统 | ||
【主权项】：
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