[发明专利]一种黑色光阻衬底雾状的清洗方法有效
| 申请号： | 201910406978.0 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110262197B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 李思拥;郑运松;曾一鑫 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;H01L21/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 李健威;陈卫 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种黑色光阻衬底雾状的清洗方法，步骤如下：提供一黑色光阻衬底，所述黑色光阻衬底包括衬底层和形成于所述衬底层上的黑色光阻图案层，所述黑色光阻图案层具有镂空区域和光阻区域，制作所述黑色光阻图案层的黑色光阻材料中含有碳黑；采用流体对所述衬底层在所述镂空区域中的露出部分进行冲洗，其中，所述流体对所述衬底层上残留的碳黑的剥离力大于所述碳黑对所述衬底层的附着力。该清洗方法可以有效地对黑色光阻衬底的雾状现象进行改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 色光 衬底 雾状 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种黑色光阻衬底雾状的清洗方法，其特征在于，步骤如下：提供一黑色光阻衬底，所述黑色光阻衬底包括衬底层和形成于所述衬底层上的黑色光阻图案层，所述黑色光阻图案层具有镂空区域和光阻区域，制作所述黑色光阻图案层的黑色光阻材料中含有碳黑；采用流体对所述衬底层在所述镂空区域中的露出部分进行冲洗，其中，所述流体对所述衬底层上残留的碳黑的剥离力大于所述碳黑对所述衬底层的附着力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信利光电股份有限公司，未经信利光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910406978.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
