[发明专利]一种磁控真空计校准判断方法有效
| 申请号： | 201910413557.0 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110118630B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈蕊;王彦;杨运兴;龙剑勇;冯洪新 | 申请（专利权）人： | 中国振华电子集团宇光电工有限公司（国营第七七一厂） |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人： | 韩炜 |
| 地址： | 550018 贵州省*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控真空计校准判断方法。按下述步骤进行：a.将被校准仪器串入真空测试产品真空度检测回路；b.在被校准仪器上选择真空测试产品真空度检测用的测量曲线；c.按下被校准仪器的测量键，被校准仪器高压第一次向真空测试产品加高压，高压放电，收集级悬空，第一次电流采样结束；d.被校准仪器磁控线圈电压充电到预设固定值，向被校准仪器输入标准电流，被校准仪器高压第二次向真空测试产品加高压，高压、磁控线圈同时放电，第二次电流采样结束；e.之后，被校准仪器做漏电流扣除运算，得出电流显示值；根据电流显示值即能判断被校准仪器是否需要校准。本发明能够判断磁控真空计的测量误差范围是否满足测量需求，且方法简单，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空计 校准 判断 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁控真空计校准判断方法，其特征在于：按下述步骤进行：a.将被校准仪器串入真空测试产品的真空度检测回路；b.在被校准仪器上选择真空测试产品真空度检测用的测量曲线；c.测量曲线选好后开始测量：按下被校准仪器的测量键以后，被校准仪器高压第一次向真空测试产品加高压，高压放电，收集级悬空，第一次电流采样结束；d.被校准仪器磁控线圈电压充电到预设固定值，向被校准仪器输入标准电流，被校准仪器高压第二次向真空测试产品加高压，高压、磁控线圈同时放电，第二次电流采样结束；e.电流采样结束后，被校准仪器做漏电流扣除运算，得出电流显示值；根据电流显示值即能判断所述的被校准仪器是否需要校准。
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