[发明专利]一种用于晶圆承载盒的支撑架及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于晶圆承载盒的支撑架及其使用方法，包括上托架、伸缩套管和支撑套管，所述上托架包括井字架，所述井字架由矩形框及其四个拐角外壁均焊接两个垂直外壁的圆杆构成，所述井字架的内部四个拐角处的底部焊接有托杆，所述井字架的矩形框四个拐角的底面均焊接有竖直设立的支撑螺杆。本发明中，利用支撑套管螺母与支撑螺杆旋合的方式，对支撑架的高度进行调节，通过支撑套管内通过第二复位弹簧弹性连接的带有滚球的活动块能够在支撑架未载重或者载重较轻的情况下，利用滚球改变支撑架的位置，而通过紧固调节螺丝固定伸缩套管位置实现对支撑架的位置固定，能够实现晶圆承载盒位置上、下调动以及对支撑架的固定。

主权项

1.一种用于晶圆承载盒的支撑架，其特征在于，包括上托架(51)、伸缩套管(52)和支撑套管(53)，所述上托架(51)包括井字架(512)，所述井字架(512)由矩形框及其四个拐角外壁均焊接两个垂直外壁的圆杆构成，所述井字架(512)的内部四个拐角处的底部焊接有托杆(513)，所述井字架(512)的矩形框四个拐角的底面均焊接有竖直设立的支撑螺杆(514)，所述支撑螺杆(514)的外壁套接有支撑套管(53)，所述支撑套管(53)由与支撑螺杆(514)旋合连接的螺母(531)及其底部连接的圆管(532)组成，所述支撑螺杆(514)的底部通过第二复位弹簧(55)弹性连接有与圆管(532)内壁滑动连接的活动块(56)，所述活动块(56)的底部嵌入安装活动连接的滚球(57)；所述井字架(512)圆杆外壁滑动套接有伸缩套管(52)，所述伸缩套管(52)靠近井字架(512)圆杆的端部外壁旋合连接有紧固调节螺丝(522)。