[发明专利]正型感光性树脂组合物和由其制备的固化膜在审
申请号: | 201910417981.2 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN110554566A | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 李廷和;许槿;郑周永;金莲玉 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/008;G03F7/075 |
代理公司: | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物和由其制备的固化膜。所述正型感光性树脂组合物包括对显影剂的溶解速率在特定范围内的丙烯酸共聚物、和含有酚羟基的化合物,以使得当形成固化膜时可获得高对比度和高敏感性图案。此外,当形成半色调以及全色调时,可进一步增强图案的粘着性。 | ||
搜索关键词: | 正型感光性树脂组合物 固化膜 丙烯酸共聚物 图案 高对比度 高敏感性 半色调 酚羟基 全色调 显影剂 粘着性 制备 溶解 | ||
【主权项】:
1.一种正型感光性树脂组合物,其包括:/n(A)丙烯酸共聚物;/n(B)硅氧烷共聚物;/n(C)含有酚羟基的化合物;和/n(D)1,2-二叠氮醌化合物。/n
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