[发明专利]一种微影玻璃薄化的方法及其控制系统有效
| 申请号： | 201910418416.8 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN110231725B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 汪直超;蔡在秉;李彦泽;金明光;邓强;陈仲仁;李德全;何崇嘉;吴智坤;刘云 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;C03C15/00;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种微影玻璃薄化的方法，包括如下步骤：提供一玻璃基板；清洗；涂胶；预烘烤；曝光；微影：先将曝光得到的图案转移到光刻胶薄膜层上，再用溶剂浸泡将光刻胶受光照射到的部分加以溶解或保留；显影；成盒工艺；有益效果：与现有技术相比，本申请通过在曝光工序和显影工序之间增加一道微影工艺，使得在成盒工艺完成后便可得到薄化的液晶显示面板，无需再进行减薄处理。同时，可以使得微影玻璃薄化过程中，进行减薄的酸液浓度和温度的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 方法 及其 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种微影玻璃薄化的方法，其特征在于，包括如下步骤：S10，提供一玻璃基板；S20，清洗：对玻璃基板进行清洗；S30，涂胶：在所述玻璃基板上涂布一层光刻胶；S40，预烘烤：将上述涂布完成的玻璃基板放入干燥箱中进行烘烤，使光刻胶溶剂部分挥发；S50，曝光：将烘烤完成的玻璃基板放置在紫外灯下进行曝光；S60，微影：先将曝光得到的图案转移到光刻胶薄膜层上，再用溶剂浸泡将光刻胶受光照射到的部分加以溶解或保留；S70，显影：用碱性溶液对微影完成的玻璃基板进行清洗，去除未发生光聚合反应的感光材料；S80，成盒工艺：将显影完成的彩膜基板与阵列基板进行贴合并灌注液晶。
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